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高精度超精密激光干涉儀

簡要描述:SJ6000高精度超精密激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是高精度、高靈敏度的測量儀器。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點.

  • 更新時間:2024-03-04
  • 產品型號:SJ6000
  • 廠商性質:生產廠家
  • 訪  問  量:73

詳細介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價格區間面議
產地類別國產應用領域化工,交通,航天,汽車,綜合

產品簡介

SJ6000高精度超精密激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是高精度、高靈敏度的測量儀器。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

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產品配置

SJ6000高精度超精密激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖800.jpg

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。


產品功能

(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;

(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

(5)具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

(6)支持手動或自動進行環境補償。

應用場景.jpg

測量軟件特點

(1)友好的人機界面;

(2)豐富的應用功能模塊;

(3)向導式的操作流程;

(4)簡潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業專屬模板定制。


部分技術規格

穩頻精度0.05ppm
動態采集頻率50 kHz
預熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項:

平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測量配置需求:依據軸向量程范圍,選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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